随着人类科学技术的进步，微机电系统(MEMS)在社会生产和生活中的应用变得越来越广泛。微细制造技术是MEMS及微型零件制造的关键加工技术，是现今制造技术研究最为活跃的领域之一。微细电解加工作为一种重要的微细加工技术，以“离子”形式去除金属材料；其加工过程无切削力、无再铸层、不受材料硬度强度影响，在MEMS领域有着巨大的应用潜力。本文主要完成了以下内容：(1)在线制备亚微米工具电极。研究了液膜法和浸没法电化学腐蚀制备亚微米工具电极，成功制备出直径在亚微米级的钨电极。(2)提出基于瞬态电流检测的对刀方法。分析亚微米工具电极在微细电解加工中发生的弯曲变形和电火花放电现象，提出基于瞬态电流检测的对刀方法，并研究对刀进给速度对亚微米工具电极对刀精度的影响。(3)研制了基于视觉和瞬态电流检测的综合对刀系统。该系统依靠视觉辅助，使工具电极向工件表面快速进给，到达距工件表面约数十微米的位置；然后通过瞬态电流检测，准确判断工具电极与工件短路接触的位置，实现快速精确对刀。