微驱动系统是目前机器人、精密制造和医疗等相关领域的重要组成部分。作为微驱动系统中高精密驱动部件的候选者之一,压电陶瓷驱动器位移分辨率高、输出功率大、响应速度快,在提高机械系统驱动性能方面具有明显优势。然而,基于压电材料制作的压电陶瓷驱动器,内部存在具有频率相关性的强迟滞非线性特性,该特性是阻碍压电陶瓷驱动器驱动精度提升的主要因素。本论文以基于压电陶瓷驱动器搭建的压电驱动平台为研究对象,考虑到压电陶瓷驱动器内部的迟滞非线性特性,设计了一种结合改进粒子群算法（Modified Particle Swarm Optimization,MPSO）和Rate-dependent Prandtl-Ishlinskii（RDPI）模型的建模方法来确定压电驱动平台的迟滞非线性模型,并在该模型基础上设计了自适应反步控制器,可以在保证闭环系统稳定性的前提下实现压电驱动平台的轨迹跟踪。进一步考虑到实际应用中压电陶瓷驱动器输入受限的情况,在无饱和控制方案中引入抗饱和补偿器,当出现输入饱和时可以有效减少控制器性能的下降。本文主要完成的工作如下:1)完成了压电驱动平台输入输出特性的实验研究。为了对压电驱动平台中存在的迟滞非线性进行建模,从而对宽频率范围内压电驱动平台的输出行为进行准确预测,本文在输入信号频率和幅值变化的情况下,完成了对压电驱动平台输入输出特性的实验研究,并结合实验结果对压电驱动平台的迟滞非线性进行了分析。2)设计了一种结合MPSO算法和RDPI模型的迟滞建模方法。将压电陶瓷驱动器从压电驱动平台中独立出来,并对其机电特性进行分析。考虑到压电陶瓷驱动器输入电压与输出力之间存在的迟滞以及输出位移与输出力之间的动力学方程,采用RDPI模型级联二阶系统的模型结构来表征压电驱动平台迟滞非线性,并采用MPSO算法确定模型参数。结合模型的实验验证以及两组对比实验,证明了本文所设计的建模方法的有效性。3)设计了压电驱动平台跟踪控制方案并完成了实验验证。将RDPI模型所表征的迟滞视为系统有界干扰,结合自适应算法和反步控制算法设计了闭环反馈自适应反步控制方案,并证明了控制系统的稳定性。在不同参考轨迹下,利用轨迹跟踪实验对所提控制方法的有效性进行了验证。在无饱和控制方案中引入抗饱和补偿器,以减轻在实际应用中由于压电陶瓷驱动器输入饱和所造成的控制器性能下降,并通过实验验证了该方案的可行性。本论文从迟滞非线性建模和控制方案设计上实现了对压电驱动平台驱动性能的提升,为后续压电陶瓷驱动器在各领域微驱动系统中的应用提供了理论基础。