【摘 要】
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集成组合技术是无机功能材料研究的全新方法,旨在高效、快速发现/优化新材料.该项工作的目的在于建立集成材料芯片制备平台,选择（Ba,Sr）TiO作为研究体系,开展相关的技术探索,为
【出 处】
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中国科学院研究生院 中国科学院大学
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集成组合技术是无机功能材料研究的全新方法,旨在高效、快速发现/优化新材料.该项工作的目的在于建立集成材料芯片制备平台,选择（Ba,Sr）TiO<,3>作为研究体系,开展相关的技术探索,为后续研究工作奠定基础.因此,该项工作建立了离子束溅射材料芯片沉积系统,利用顺序沉积技术制备了（Ba,Sr）TiO<,3>材料芯片,并系统研究、探索了平台建立和芯片制备中的关键问题：材料芯片制备参数的选择优化,即离子束集成材料芯生沉积系统技术参数筛选、优化;顺序沉积多层膜的后热处理过程对成膜的影响.采用优化的工艺参数制备的顺序沉积多层膜经低温互扩散形成互溶层和高温晶化两步热处理过程,形成良好的结晶薄膜.研究工作的开展为后期利用组合技术平台实现新材料优化/筛选奠定了良好的技术基础.
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