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硅基集成加热/加磁功能多孔氧化铝湿度传感器特性研究
【摘 要】
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本文采用微电子机械系统(MEMS)加工工艺设计了具有加热/加磁功能的阳极氧化铝(AAO)湿度传感器。该湿度传感器包括湿敏结构和加热/加磁结构,其中湿敏结构由铂叉指电极和AAO感湿薄膜构成。在不同湿度条件下,因吸附在AAO敏感膜上的水分子数量不同,导致叉指电极的电容值发生改变,可以实现湿度测量。加热结构由铂加热电阻构成,通过蛇形加热电阻提高AAO薄膜所在区域的温度。加磁结构由永磁材料构成,可产生一定
【机 构】
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黑龙江大学
【出 处】
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黑龙江大学
【发表日期】
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2020年03期
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