可变光衰减器(VOA),是一种旨在降低波导中传输的光功率的器件,可以按照用户的要求将光信号能量进行预期地衰减,它是随着光通信事业发展出现的一种非常重要的纤维光学无源器件。可变光衰减器在光纤通信、光纤传感器及光纤测量系统中有着广泛的应用。本文利用聚合物分散液晶在不同电场强度下引起的光的散射效应的变化,来实现对光路能量的可控连续衰减;结合当前光通信发展对光网络中光信号处理元件的高可靠度、耗电量少以及小型化的要求,充分考虑硅晶体(100)面的晶体特征,采用体硅微机械加工技术制作衰减器原型器件。研制方案采用光纤对接耦合结构与液晶功能单元合并为一体,在(100)硅基底上通过湿法定向腐蚀制作8*8光纤自对准V型定位槽与液晶微槽,形成光衰减器的光通路。通过光纤端面及侧面溅射一层透明导电薄膜ITO,在自对准定位槽中精确耦合,在液晶微槽中注入聚合物分散液晶(PDLC)材料,引出电极后形成8*8可变光衰减器。并对器件的整体性能进行测试分析。