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光电子,微电子,光伏能源,传感器等半导体材料和器件与我们的生活紧密相连,它们无论是在常见的工业领域还是高端前沿科技领域都扮演着无法替代的角色。体现半导体材料和器件性能的各项载流子输运参数(前后表面复合速率,扩散系数,体复合寿命,迁移率等)和关键的物理参数的检测手段的发展自然也成为科学研究领域的重头戏。本文所研究的光载流子辐射测量(Photocarrier Radiometry,PCR)和锁相载流子辐射成像技术(Lock-in Carrierography,LIC)便是目前在半导体材料和器件检测领域最具有前景的检测手段。PCR检测技术是利用频域范围中的锁相检测原理实现的的半导体载流子输运参数单点局部检测手段,而LIC检测成像技术是在PCR的理论基础之上的利用面阵式相机的面检测成像技术。与当前已经存在的常见半导体检测技术:光电导衰减技术(Photoconductance Decay,PCD),锁相热波成像(Lock-in Thermography,LIT)技术,光致发光(PL)技术等检测方法相比有更好的信噪比,更准确等优势,并且能对多种半导器件和材料进行载流子的输运参数实现测量。虽然PCR和LIC技术在国内外主要用于实验检测阶段,实验中的操作和数据处理等问题都较为复杂,而且对于完全不了解整套系统工作原理时基本无法使用,这些存在的问题都亟待解决,本文从服务于PCR和LIC的实验为出发点主要完成了以下工作内容:(1)结合PCR和LIC检测理论完成了其光路系统搭建和整个系统的可行性验证。(2)建立了基于Labview和C++自动化控制地PCR与LIC的测试系统(3)整合了PCR和LIC两个实验系统,分析了实验中各种因素对实验系统的影响,并在控制系统中对其进行误差矫正。(4)基于PCR和LIC检测成像理论,在自动化系统中嵌入拟合计算模块,完成了自动化的整个测试流程。