【摘 要】
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可见光垂直腔面发射激光器具有易于集成、能实现高速调制和功耗小等优点,在激光打印、光显示等众多领域应用广阔。传统的VCSEL具有散热性能差、电流注入不均匀等缺点,本文制
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可见光垂直腔面发射激光器具有易于集成、能实现高速调制和功耗小等优点,在激光打印、光显示等众多领域应用广阔。传统的VCSEL具有散热性能差、电流注入不均匀等缺点,本文制备的新型VCSEL提升了VCSEL的散热性能,也解决了VCSEL电流注入不均匀的问题：首先,VCSEL一般是圆环腐蚀槽结构,这种结构使得VCSEL的散热性能差,我们设计了一种新型的桥型腐蚀槽结构,提高了VCSEL的散热性能；每当VCSEL的出光孔较大时,它会出现电流注入不均匀的现象,我们设计了新型的米字型出光孔结构,使电极接入到出光孔内部,从而使得VCSEL的电流注入均匀。我们设计并制作了光刻板,通过实验我们成功制备出了670nm可见光垂直腔面发射激光器。我们运用ANSYS模拟了VCSEL的散热性能,运用MATLAB模拟了新型VCSEL的出光性能,深入的与实验相结合的研究分析其特性,结果与设计相符合。
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