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NiTi根管锉因形状记忆效应和超弹性现已广泛应用于临床医疗,但是在根管预备过程中,易于出现镍离子从表面析出及器械分离、切割效率较低等问题。对NiTi根管锉进行表面改性技术以改善其切割效率、耐腐蚀性能及抗疲劳断裂性能已经引起了越来越多的重视。本研究采用磁控溅射镀膜技术,在NiTi根管锉表面分别镀覆TiN、ZrN薄膜,考查沉积工艺对镀膜NiTi根管锉使用性能的影响规律,并进而对两种薄膜进行比较分析,获得更适合镀覆在NiTi根管锉上的薄膜。对镀膜后的NiTi根管锉进行了表面形貌及成分检测和分析,使用X射线衍射仪分析TiN、ZrN薄膜的相结构及晶面的择优生长取向,使用维氏硬度计对TiN、ZrN薄膜进行了硬度测试,使用与人体牙齿硬度和结构相仿的模拟树脂根管对NiTi根管锉进行了切割效率试验,使用特制弯曲铜管来模拟人体牙齿的根管对NiTi根管锉进行抗循环疲劳断裂性能的测试,采用电化学腐蚀方法对NiTi根管锉进行耐腐蚀性能的测试,探究镀膜前后NiTi根管锉切割效率、抗疲劳断裂性能、耐腐蚀性能等性能的变化。NiTi根管锉表面镀覆的TiN、ZrN薄膜均为择优生长取向(111)晶面的面心立方相,呈柱状晶组织特征;基片偏压和占空比对沉积速率影响较小,膜层厚度主要取决于沉积时间。镀覆TiN、ZrN膜NiTi根管锉的最大切割效率分别比未镀膜NiTi根管锉提高了21%和72%;镀覆ZrN膜NiTi根管锉的切割效率整体高于镀覆TiN膜的NiTi根管锉。镀覆TiN、ZrN膜NiTi根管锉的最优抗循环疲劳断裂性能分别比未镀膜NiTi根管锉提高了96%和64%,而且,镀覆TiN膜NiTi根管锉的抗循环疲劳断裂性能高于镀覆ZrN薄膜的NiTi根管锉。镀覆TiN、ZrN膜NiTi根管锉在次氯酸钠溶液中的耐腐蚀性能均高于未镀膜NiTi根管锉;而且,镀覆ZrN膜NiTi根管锉比镀覆TiN膜NiTi根管锉耐腐蚀性能更优。综合分析表明,采用磁控溅射技术制备的TiN薄膜、ZrN薄膜均可以用于NiTi根管锉表面镀覆,并且ZrN薄膜比TiN薄膜具有更优越的综合性能。