多晶金刚石半导体材料及MOSFET器件研究

来源 :西安电子科技大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：PhilippsWang

【摘要】

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【作者】

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徐雷

【出处】

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西安电子科技大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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多晶金刚石纳米晶刻蚀 MOSFET 2DHG

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