声表面波器件体积小、能耗低,相较于传统LC滤波器在处理信号方面更加简单、方便。随着4G的正式商用和大数据时代的到来,未来通信行业已经进入高频、大带宽的时代,声表面波器件也将朝着这一趋势不断发展。因此需要在声表面波器件的结构设计上做出改进,同时寻找性能更加优异的压电材料。而ZnO单晶作为一种新型的压电材料,由于其较高的机电耦合系数在设计大带宽的器件方面有很大的优势。本文首先介绍了声表面波理论、叉指换能器以及压电材料的发展历史、工作原理;然后介绍了声表面波谐振器的结构和工作原理,并基于有限元压电材料中表面波传播的有限元分析原理,利用有限元分析软件COMSOL对ZnO单晶声表面波谐振器进行多物理域耦合建模与仿真,提取出了符合声表面波振型的对称模态变形图和反对称模态变形图。通过谐振频率分析,计算出了ZnO单晶的相速度v=2683.9m/s和机电耦合系数k 2=0.816%;通过频率响应分析,得出谐振器输入导纳、阻抗与频率之间的关系图;还讨论了叉指换能器的结构对ZnO单晶声表面波谐振器工作频率的影响,得出输入输出IDT的叉指对数越多,插入损耗越小,即信号衰减越小,但是器件的“3dB”带宽也会越小。还设计了一种符合国内外标准的ZnO单晶声表面波谐振器,并探索设计出高频段(工作频率在2GHz左右)的声表面波谐振器。最后探讨了ZnO单晶声表面波谐振器在压力传感方面的应用。