3D打印技术被认为是第三次工业革命的重要标志,正在改变制造业发展的现状。它利用计算机的三维设计与计算技术将零件的模型分解为一系列给定厚度的薄层,通过将这些薄层逐层堆积形成期望的零件实体。与传统意义上去除材料的加工方法相比,3D打印方法能够实现高度复杂结构的制造,并且有效减少生产工序,提高材料利用率。在微纳米尺度上,3D打印方法也已经显示出巨大的发展潜力。以光学光刻、软光刻、电子束光刻和纳米压印光刻为代表的传统微纳制造技术仅能满足二维结构的制造。此外,由于加工过程包含的工序多,使用的设备复杂,导致加工费用昂贵、生产周期长等问题的出现。如果采用3D打印的方法,就有可能无需掩模和光刻,以直写的方式制备任意复杂构型的微纳结构。目前,在纳米级3D打印这一领域,聚焦电子束诱导沉积方法由于起步较早目前已逐步走向成熟,并成功应用于纳米电子学、纳米光学、纳米测量学等众多领域,成为制备复杂纳米结构的重要工具,推动了一系列技术创新的发展。但该方法面临的瓶颈在于缺乏有效的测试手段以保证打印精度,亦即打印过程非完全可控。这一问题对制备多层复合式功能纳米结构而言尤其重要。为此,本文提出闭环纳米制造的构想:通过设计高性能的原位测试工具,使之成为沟通打印结果与参数调整策略的桥梁。基于这一想法,提出了将高速原子力显微镜成像与聚焦电子束诱导沉积过程进行功能化集成的技术方案。该方案的核心是设计高性能且与纳米制造过程共融的原子力显微镜系统。通过对扫描器、探针偏转检测系统、扫描控制系统以及数据采集系统进行重新设计,实现了多层复杂纳米结构制造与测量过程的一体化。具体而言,本文首先建立了原子力显微镜在接触模式和轻敲模式下扫描过程的动力学模型,分别从探针和扫描器的角度阐明限制扫描速度和成像质量的关键因素。分析了成像带宽与图像分辨率之间的关系,在此基础上确定了原子力显微镜在真空中的成像模式。此后,基于柔性机构设计了具有高机械带宽的扫描器。根据卡式定理建立了柔性铰链的刚度模型,分析了关键参数对柔性铰链刚度的影响,在此基础上确定了扫描器的构型。结合Abaqus有限元分析对设计的扫描器进行动态分析,通过与不采用柔性铰链时的扫描器谐振模态进行比较,进一步论证了柔性铰链结构对扫描器的影响。对扫描器进行静态与动态特性测试,一方面对水平面内存在的迟滞和串扰效应进行建模,另一方面获得扫描器沿各轴的频率特性以及轴间的耦合频率特性。根据测试结果对迟滞非线性,轴间串扰以及谐振特性进行建模,设计了基于现场可编程逻辑阵列(FPAA)的前馈控制器。随后搭建了自感知探针的信号调理电路以及高速数据采集系统。基于Lab VIEW编写了用于生成扫描信号,设置扫描参数和进行数据采集的控制界面,确保扫描和成像过程的精确同步。同时实现了对探针信号和Z向反馈控制器信号的高速采集与存储。针对迟滞非线性的率相关特性,提出了新型电荷控制方法对压电致动器的迟滞效应进行补偿。从传统电荷控制器存在的过补偿和欠补偿效应着手,提出改进方法从而进一步提高扫描器的运动精度。设计了接地式电荷控制器,解决现有浮地式结构通用性不强且损失致动器行程的问题。最后,进行了高速原子力显微镜和聚焦电子束诱导沉积系统的集成与测试。在空气环境中对标准样品进行成像实验,获得了高品质的样品表面拓扑图像。在双束系统的真空腔内进行了多层纳米结构打印过程的在线测量,以打印纳米级瑞士马特洪峰为例,实现了3D打印的全过程可测,证实了本文提出的技术方案的可行性和有效性。通过协调打印和成像操作,实现了纳米制造与精密测试的一体化。本文的研究成果为旨在实现高精度且可重复纳米制造的“闭环3D纳米打印”这一构想奠定了基础。后续的研究工作将围绕如何利用原子力显微镜提供的三维图像制定有效的打印策略这一问题展开。