干涉合成孔径雷达技术是近年来微波遥感领域的一个重要分支，它利用两副SAR天线接收到的同一地面回波信号之间的相位差重建地面的高程信息。它为大面积快速获取高精度、高分辨率的地面高程信息提供了一条全新的途径，已经发展成为国内外雷达领域的研究热点之一。 获得高精度的数字地面高程图是INSAR技术的一个重要研究目标，本文力图深入研究高程精度的影响因素，将随机相位噪声、运动补偿、原始数据压缩和基线参数估计有机结合起来，综合考虑雷达方程、模糊噪声、量化噪声、系统噪声以及信号处理误差，分别对其进行分析。 对雷达有效载荷系统来说，相位因素直接决定了干涉测量的相对高程精度，本文分析了干涉相位的统计特性，得到了随机相位的概率分布和相位偏差，考察了相位精度与系统相干性的关系，指出干涉相位有效视数的意义，并推导了有效多视数的估计方法，从而有效降低相位噪声。 基线参数的精确估计是INSAR成像过程中的一个重要环节。基线估计方法的选择有赖于具体应用和所要求的处理精度、已有的参数情况以及成像区域地形的变化等。文中对现有的基线估计方法进行了分析，提出了一种基于随机分布的地面控制点的基线参数估计方法，并利用仿真实验证明该方法的有效性。 为了产生高精度的DEM，对机载INSAR系统运动补偿是必不可少的步骤。文中介绍了目前比较成熟的INSAR运动补偿算法，并对干涉条纹中存在的残余相位误差的补偿方法进行分析，利用子孔径算法来消除横滚引入的相位抖动，并建立数学模型进行论证，理论、试验结果都证明了该方法的可行性。 数据压缩编码也会引入相位噪声，文中探讨了INSAR原始信号的特性，提出利用回波信号的幅度和相位统计独立的特性以及两路信号之间的相关性，将幅相压缩算法应用于INSAR原始数据的压缩，并利用INSAR原始数据压缩效果的评估准则进行比较，试验结果证明幅相方法可以更有效地降低数据率。