倒筒靶RF溅射制备BST热释电薄膜研究

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【摘要】

：

(Ba,Sr)TiO_3(简称BST)是一种钙钛矿结构的铁电材料,具有介电常数高、漏电流密度小、热释电性能优良以及居里温度可调等特点,是制作单片式非制冷焦平面阵列(UFPA)的理想材料之一。为了满足单片式UFPA器件研制的需要,本文开展了BST薄膜的倒筒靶射频(RF)溅射生长研究:首先进行了筒形BST陶瓷靶的烧结工艺研究,在优化烧结条件下制得结构致密,结晶良好的Ba_(0.65) Sr_(0.35

【作者】

：

刘祚麟

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2007年04期

【关键词】

：

BST薄膜倒筒靶射频溅射热释电非制冷焦平面阵列

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