电感测微仪是一种分辨率极高、工作可靠、使用寿命很长的测量仪，应用于微位移测量已有比较长的历史。国外生产的电感测微仪产品比较成熟，精度高、性能稳定，但价格昂贵。国内生产的电感测微仪存在漂移大、工作可靠性不高、高精度量程范围小等问题，一直与国外的传感器水平保持一定的差距。在超精密加工技术迅猛发展的今天，这种测量精度越来越显得不适应加工技术发展的需求。本文针对这些问题，对电感传感器测量电路进行了一定的设计和改进。对电感测微仪的正弦波生成电路、交流分档放大电路、带通滤波电路、相敏检波电路、数据采集电路等进行了精确的分析和相应的设计，并提出了必要的改进措施。在电路的制作与调试方面，从电路的合理布局与布线、电子元器件的选择与安装、电路的调试等方面做了大量的工作，并通过软件实现数据处理，使测量精度得到进一步的提高。通过一系列的静态测试实验，对传感器的性能进行了一定的评价。实验表明，电感测微仪性能比较稳定，在量程为-20μm到+20μm时，每20分钟的漂移量为10nm，灵敏度为281mV／μm，分辨率优于10nm，重复精度约为0.12％F．S，线性度为0.2％F．S。本文通过对电感测微仪的各种改进，为其成为一个通用化、仪器化、商品化的产品打下了基础。