近几年,微流体光学器件受到科学家广泛的关注;这是因为微流体光学器件调节特性好,而且价格低廉。目前已经提出基于微流体技术的波前校正器、微透镜、光开关微列阵等应用结构。本论文中,对微流体驱动光学波前校正器展开仿真,主要分析微流体单元驱动镜面的基本规律,并进行Zernike多项式拟合,通过分析实现对器件性能的初步的评价。论文首先介绍了相关的微流体驱动理论,以及基于介质上电润湿的基础上的微流体驱动光学波前校正器原理:硅的表面预先形成亲疏水图案,通过施加电压改变液体边缘对应区域的表面化学能,从而实现对表面张力的调制,进而控制微液体单元形状、与微液滴单元接触的波前校正器镜面的变形。论文通过协作采用多物理场分析软件,在仿真过程中,先针对镜面薄膜厚度、接触角变化、单个液滴变形、液滴断裂等基本规律开展详细分析;在仿真的过程时,出现了一些现象:在一定的条件下发生液体断裂、液滴随着膜片无休止的压缩以及上升、侧母线的高次曲线使得其高度变化更为复杂等现象。这些结果为进一步的设计提供了依据,也表明实现此种结构的微镜并非易事,需要复杂的设计。进而针对37单元的多个液滴模型开展分析,证明微液滴驱动波前校正器是可行的,面形连续、良好,但是交联值较大,有待分析中实现对其薄膜参数的进一步优化。对其影响函数进行分析,为波前拟合分析提供了依据。针对微流体驱动波前校正器采用Zernike多项式进行波前拟合。通过分析得出结论,在采用液体驱动器的变形反射镜中,传统固体驱动的影响函数线性叠加算法不成立,将使波前处理算法更加复杂。初步针对指定像差进行拟合,结果显示拟合残余像差较大,分析其原因主要是分析中软件对模型建立及其镜面选材限制所致,表明分析需要进一步改进。通过分析,可以得到初步的结论,微流体驱动的光学波前校正器工艺简单,镜面连续,有望避免固体驱动器与镜面连接产生的高阶像差。但是分析中交联值较大、波前拟合残余像差大等问题,显然还需要分析改进等大量工作。