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以激光起爆引信MOEMS安全系统为应用背景,设计了一种用于光逻辑控制的硅基电热微执行器。硅基电热微执行器作为光逻辑控制的驱动装置,具有结构简单、尺寸小、易于与后坐保险机构集成加工、驱动电压较低、可靠性高、电磁干扰小等优点,满足现代引信微型化、智能化、信息一体化的发展趋势。通过电-热-力理论模型构建、有限元仿真和实验相结合的研究方法,对执行器进行设计及其驱动特性研究,所用的研究方法和所得的研究成果,为开发大位移的电热微执行机构奠定基础,具有一定的研究和工程意义。基于电能-热能转换的焦耳热效应和热能-机