【摘 要】
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本论文叙述了常见光开关的研究进展,重点讨论了极化聚合物电光开关的工作原理,研究制备了电光系数大且稳定的有机/无机杂化聚合物电光材料——DR-1/Silica,采用反射法对其电
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本论文叙述了常见光开关的研究进展,重点讨论了极化聚合物电光开关的工作原理,研究制备了电光系数大且稳定的有机/无机杂化聚合物电光材料——DR-1/Silica,采用反射法对其电光系数进行了测量,利用WVASE32型椭偏仪测试了聚合物薄膜的折射率和厚度。这些重要的数据为设计新型具有高电光系数聚合物电光开关提供了重要参考数据。最后论文讨论了极化聚合物电光开关波导结构的制备工艺,并详细阐述了铝掩模光刻以及反应离子刻蚀等关键工艺技术,成功地制备了电光材料DR-1/Silica的直波导以及Y分支波导器件,并完成了对波导器件的测试工作。
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