随着现代社会信息技术的快速发展和人们生活水平的提高，对生活环境的要求也越来越高，同时对于检测环境的传感器也提出了更高的要求。陶瓷半导体材料三氧化钨（WO₃）具有稳定性好，寿命长等优点，使其在传感器方面有着广阔的应用前景。硅纳米孔柱阵列（Si-NPA）具有典型的微／纳双重阵列结构，该结构体系使Si-NPA具有巨大的比表面积并为气体的传输提供有效的通道，这些特点使Si-NPA作为传感材料的衬底材料有着独特的优势。本论文利用匀胶旋涂技术在Si-NPA衬底上沉积纳米WO₃薄膜，并制备出WO₃／Si-NPA复合薄膜气湿敏元件，然后测试该元件的气湿敏性能。围绕本研究课题开展了以下实验工作，取得以下成果：1．采用钨粉过氧化氢氧化法制备出稳定性好的三氧化钨溶胶。并通过旋涂技术制备出覆盖均匀的、质量较好的WO₃／Si-NPA复合材料。该复合体系保持了Si-NPA典型的阵列结构特征。2．在一系列不同的湿度条件下，对WO₃／Si-NPA湿敏元件的湿敏性能进行测试。通过对不同测试频率下电容-湿度，灵敏度-湿度响应曲线比较分析，得出最佳测试频率为100Hz。测试结果表明，WO₃／Si-NPA湿敏元件具有灵敏度高，输出信号强，电容-湿度曲线线性度好，长期稳定性好等优点。WO₃／Si-NPA湿敏元件的优越性能是由敏感材料WO₃和衬底Si-NPA共同作用的结果。3．搭建了一个能够实现控制气体流量、浓度和气体测试环境湿度的气敏实验测试系统，并初步测试了一定湿度下WO₃／Si-NPA传感元件对NO₂敏感性能，实现了WO₃室温下对NO₂的测试。