论文部分内容阅读
本文采用对向靶直流磁控溅射法制备了系列(Co, Fe)-C 颗粒薄膜样品,并对其进行了退火处理;用原子力显微镜、X 射线光电子能谱、X 射线衍射、高分辨透射电子显微镜、振动样品磁强计,分别研究了样品的表面形貌、成份、微观结构和磁性质。原子力显微镜分析结果表明,制备态CoxC100-x(30≤x≤40)颗粒膜的平均表面粗糙度(Ra)比硅基片的表面粗糙度小,而Fe48C52颗粒膜的Ra值比硅基片的表面粗糙度大,并随退火温度的升高而增大。X射线衍射、高分辨透射电