Au-MgF<,2>复合纳米金属陶瓷薄膜的制备、微结构及其光电特性的研究

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采用射频磁控共溅射技术成功地制备Au的体积百分比分别为6%、15%、25%、40%、50%和60%的一系列Au-MgF<,2>复合纳米金属陶瓷薄膜.根据不同的性能测试要求,采用了不同的基片,淀积了不同厚度的薄膜.用X射线光电子能谱XPS对其中某一组分vol.60%Au-MgF2样品进行测量表明:Au的体积百分比约为62.6%,接近于设计值60%.X射线衍射及透射电子显微镜分析表明:制备的Au-MgF<,2>复合纳米颗粒薄膜由颗粒度为9.8nm至21.4nm的fcc-Au晶态纳米微粒镶嵌于主要为非晶态的MgF<,2>陶瓷基体中构成.采用UV、IR和椭圆偏振光谱技术测量分析了薄膜在红外-近紫外波段的透射和吸收光谱特性.紫外-可见吸收光谱分析表明:vol.15%Au-MgF<,2>复合薄膜在波长为492nm处出现了Au颗粒表面等离子体共振吸收峰;随Au含量的增加,该吸收峰逐渐红移,峰形逐渐变窄,峰强逐渐增大;红外光谱分析表明:在1080 cm<'-1>波数处出现了立方晶系SiO<,2>的吸收峰;在460 cm<'-1>处有F<'->-Mg<'2+>-F<'->离子弹性振动与光子辐射发生谐振消耗能量所致的MgF<,2>吸收峰;椭圆偏振光谱分析表明:vol.6%Au-MgF<,2>样品的消光系数k曲线中出现一个由Au金属颗粒表面等离子体共振吸收引起的吸收峰,峰位约为515nm.对于vol.6%Au-MgF<,2>复合薄膜,Maxwell-Gamett和Bruggeman两种有效介质理论均能对其光学特性做出定量的解释,但Maxwell-Garnett理论结果要更符合实验结果;而对于vol.40%和vol.60%Au-MgF<,2>复合膜光学性质的解释,Bruggeman理论计算结果要比Maxwell-Garnett更符合实验结果.用变温四引线技术测量薄膜的电阻-温度曲线,分析表明:vol.15%Au-MgF<,2>、vol.25%Au-MgF<,2>和vol.40%Au-MgF<,2>复合薄膜导电特性属介质状态;vol.50%Au-MgF<,2>和vol.60%Au-MgF<,2>复合薄膜导电特性属金属状态;vol.40%Au-MgF<,2>薄膜的方电阻较vol.50%Au-MgF<,2>薄膜减小了4个数量级,因此实验制备的Au-MgF<,2>复合薄膜的渗透阈q<,0>应处于40%和50%之间.
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