【摘 要】
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该文论述了当前氧化锌薄膜的制备工艺和应用的研究进展,介绍了ZnO薄膜材料的性质、应用以及制备方面的研究成果,分析了离化团簇束技术的原理与特点,提出利用反应离化团簇束技
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该文论述了当前氧化锌薄膜的制备工艺和应用的研究进展,介绍了ZnO薄膜材料的性质、应用以及制备方面的研究成果,分析了离化团簇束技术的原理与特点,提出利用反应离化团簇束技术制备高质量的ZnO薄膜,自主设计、制作了离化团簇束设备,并使用该设备在玻璃衬底上制取了具有高度c轴取向的多晶ZnO薄膜,用XRD、SEM以及轮廓台阶仪对薄膜的性能进行了评价,初步探讨了薄膜制备过程中工艺因素对薄膜质量的影响,提出较高的衬底温度、合适的加速电压和气体流量以及大的团簇束束流密度是应用ICB方法沉积ZnO薄膜中影响薄膜质量的关键因素,通过进一步的设备改造和工艺参数的调节,可以制得性质优良的ZnO薄膜.
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