【摘 要】
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本研究致力于对厚度分别为150nm的薄膜材料进行力学性能测试和表征研究。近些年来随着膜层材料的广泛应用,国外学者对于沉积膜层脱层及屈曲问题日益关注,主要是因为脱层与屈曲是微纳米机电系统器件的主要破坏形式,这一研究对于其寿命预测具有重要意义。本文主要讨论沉积在有机玻璃基底上的钛薄膜,在残余应力和外加轴向载荷的共同作用下的屈曲过程。使用一台光学显微镜观测膜层表面在应力作用下的形貌及其变化。为了模拟膜层
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本研究致力于对厚度分别为150nm的薄膜材料进行力学性能测试和表征研究。近些年来随着膜层材料的广泛应用,国外学者对于沉积膜层脱层及屈曲问题日益关注,主要是因为脱层与屈曲是微纳米机电系统器件的主要破坏形式,这一研究对于其寿命预测具有重要意义。本文主要讨论沉积在有机玻璃基底上的钛薄膜,在残余应力和外加轴向载荷的共同作用下的屈曲过程。使用一台光学显微镜观测膜层表面在应力作用下的形貌及其变化。为了模拟膜层在工况下受载荷形成屈曲变形,在试验中对试件施加外部单轴压缩载荷。在载荷作用过程中
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