【摘 要】
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VO_2在68℃附近能发生半导体≒金属相变。VO_2薄膜的光电性质、特别是近红外光透过率在相变点发生突变,因此VO_2成为了一种可以根据温度控制太阳光透过率的智能窗镀膜材料。本文采用反应磁控溅射法,分别利用还原退火及直接溅射沉积两种方法尝试制备了VO_2薄膜,并最终在较低沉积温度下(300℃)成功制备出了具有良好相变性能的VO_2薄膜,这是本文的独到和创新之处。本文重点研究了氧分压变化及热处理条件
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VO_2在68℃附近能发生半导体≒金属相变。VO_2薄膜的光电性质、特别是近红外光透过率在相变点发生突变,因此VO_2成为了一种可以根据温度控制太阳光透过率的智能窗镀膜材料。本文采用反应磁控溅射法,分别利用还原退火及直接溅射沉积两种方法尝试制备了VO_2薄膜,并最终在较低沉积温度下(300℃)成功制备出了具有良好相变性能的VO_2薄膜,这是本文的独到和创新之处。本文重点研究了氧分压变化及热处理条件对薄膜的结构与性能的影响,并讨论了玻璃基片上预镀SiO_2膜对热处理过程中薄膜结构及性能的影响
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端面气膜润滑机械密封又称干气密封，由于其具有优良的密封性能，在离心式压缩机等高速旋转设备上获得了非常广泛地应用，其中以端面开螺旋槽的应用最为广泛。目前螺旋槽端面气膜机械密封的应用已拓展到泵、反应釜等低速运转设备，但应用并不广泛，其中一个重要原因是其低速运转性能并没有完全被掌握，尤其是其动态性能。螺旋槽端面气膜密封低速运转时容易出现运行不稳定、端面接触等现象，可能导致磨损量增大而失效。低速干气密封往
气体润滑机械密封,又称气体端面机械密封或干气密封,可用来密封旋转机械中的气体或液体介质。随着经济和社会的不断发展,对气体润滑机械密封的性能也提出了越来越高的要求,如何解决许多低速设备密封的可靠性和稳定性问题逐渐成为国内外研究的热点。静压气体润滑机械密封技术在低速运行设备上具有很好的密封性能,引起了许多研究者的关注。静压气体润滑机械密封是主要利用气体静压作用实现端面非接触的一种新型密封技术。本论文针
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