【摘 要】
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钛酸锶钡(BaSrTiO,BST)陶瓷及薄膜有着广阔的应用前景,例如:相控阵天线上的移相器,微波调谐器件、红外热释电成像器件等诸多领域.最近,钛酸锶钡材料又被认定为用于动态随机存
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钛酸锶钡(Ba<,1-x>Sr<,x>TiO<,3>,BST)陶瓷及薄膜有着广阔的应用前景,例如:相控阵天线上的移相器,微波调谐器件、红外热释电成像器件等诸多领域.最近,钛酸锶钡材料又被认定为用于动态随机存储器(DRAMs)的最佳候选材料.关于钛酸锶钡材料的研究仍然是国际上研究的热点.该文采用传统陶瓷工艺制备钛酸锶钡陶瓷,通过外加添加剂,改善了陶瓷的微观结构,烧结状态和介电调谐性能,为钛酸锶钡系统物理方法薄膜化奠定了靶材的基础.此外,对于处于顺电态下的Ba<,0.6>Sr<,0.4>TiO<,3>陶瓷的介电损耗问题,做了详细的探讨,认为在BST陶瓷温度烧结过程中,将会出现脱氧,尤其是在温度高于1350℃时,这种挥发可以变的相对的剧烈起来.脱氧后化合物化学计量比受到破坏,为保持整体电中性,所以Ti<4+>就会发生变价而还原至Ti<3+>.在Ti<4+>变价还原的过程中,材料本身成为n型半导体,此时的系统分子式可以写成:Ba<,0.6>Sr<,0.4>Ti<4+><,1-x>Ti<3+><,x>[Vo]<,x/2>O<,3-x/2>.可是,在掺杂Al<3+>、Mg<2+>、Fe<3+>之后,这些离子进入Ti位正好使得氧空位的施主行为成立,于是阻止了变价的发生.
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