论文部分内容阅读
在激光刻蚀工艺中,由于大尺寸的触摸屏ITO薄膜或银浆无法在场镜的工作幅面内一次性加工完成,需要进行拼接加工,这种刻蚀线宽较窄的光刻图案拼接对激光刻蚀系统的加工精度提出了挑战。为了得到更好的ITO膜刻蚀效果,本文针对ITO膜激光刻蚀设备的控制软件展开研究,主要内容如下。(1)针对ITO刻蚀路径的要求,采用DXF文件作为软件中刻蚀路径的输入端,并依据DXF文件格式设计了一套ITO刻蚀路径生成办法并对刻蚀路径作了一定优化。通过分图层储存刻蚀路径信息,实现了ITO与银浆的同时刻蚀,生产效率提高了一倍。(2)激光刻蚀系统的刻蚀质量主要由ITO膜定位精度以及激光的扫描精度决定。本系统以直线电机(定位精度优于1μm)为标尺,应用机器视觉技术(图像传感器的像元尺寸仅为2.2μm)进行ITO膜定位,通过建立从加工文件中的虚拟坐标到工作台面实际位置的映射,从而实现了ITO膜精确定位。(3)为了达到ITO刻蚀工艺对系统光路精密控制的要求,本论文针对振镜扫描系统的天然几何失真,提出了一套改良的高精度网格表校正方法,与传统的开环校正系统不同,该方法机器视觉技术提供位置信息反馈来指导振镜控制端的实时插补,构成一套闭环校正系统,可在数分钟内完成扫描系统的精密校正。校正后的光路扫描精度优于4μm,步进量为20μm时扫描速度超过5m/s。(4)本文研究的ITO膜激光精密刻蚀系统(ET650IR)已应用于手机、平板电脑、数码相机、车载导航等各类触摸屏表层ITO、银浆线路的精密蚀刻,刻蚀线宽小于40?m时的拼接误差小于15%,日均加工量近万件(5英寸以下触摸屏),且良品率高达98%。本文研究对于提高ITO膜刻蚀工艺有推动作用,对激光精密刻蚀系统的控制有一定参考价值。