随着微光机电系统(MOEMS)的迅猛发展,人们对于光学元件的微型化的需求日益增加。而透镜作为光学系统中非常重要的元件,透镜的微型化也成为研究热点。近年来,有很多科研机构和高等院校在进行针对微透镜研制的工作,提出了许多种微透镜制作方法。其中,光刻胶热熔法成为很多科研人员的研究重点。本文基于深紫外光刻技术,提出一种新的光刻胶微透镜制作方法,利用负性光刻胶在热熔时产生曲面的方法来制作微透镜。本文主要开展了以下工作：1.调研了微透镜的制作方法,了解了微透镜制作方法的国内外研究现状和进展。研究SU-8胶光刻工艺,基于传统的光刻胶热熔法,提出一种新的利用光刻胶热熔制作微透镜的方法。对微透镜的成型机理进行了分析和讨论,从多个角度分析了各因素对微透镜的影响。对本文的微透镜制作方法进行优缺点的分析,分析了本方法制作的微透镜的一致性和均匀性。基于本文提出的光刻胶微透镜制作方法,研究了各种工艺参数对微透镜形貌的影响。针对不同的光刻胶厚度、微透镜宽度和后烘降温过程,进行了大量的实验。2.为了获得表面形貌和光学特性,利用三种测量手段来测量微透镜的相关数据,分别是台阶仪测量、光学显微镜和扫描电子显微镜测量和光学测量装置,通过台阶仪和显微镜可以获得微透镜的曲面和形貌,通过光学测量装置可以获得微透镜的光学特性。基于以上相关实验数据,分析各工艺参数对微透镜形貌及其光学性能的影响。针对光刻胶微结构的宽度、光刻胶厚度、后烘降温过程对光刻胶微透镜的影响进行了讨论和分析。通过两种方法计算和测得了微透镜的焦距,对微透镜的光学特性进行了分析和评价。最后分析了本实验制作的微透镜的填充因子。通过以上数据和分析,我们得出本文制作的微透镜有以下优点：1.本文制作的微透镜具有超长的焦距,远远大于传统光刻胶热熔法制作的微透镜的焦距。2.本文的微透镜制作方法可靠性好,工艺宽容性好。3.本文制作的微透镜的填充因子很大,实验中的填充因子最大可达98.5%。3.对微透镜的成型机理进行了分析,并用Surface Evolver进行了模拟仿真。模拟仿真结果较好地符合了实验结果,证明了微透镜的主要成型机理是利用热熔的光刻胶受表面张力影响而形成所需曲面。通过软件仿真模拟,验证了对于微透镜成型机理的分析和假设。