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基于闭环脉冲电源的硅晶体放电加工试验研究
【摘 要】
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在科技高速发展的今天,半导体材料在各高新技术领域得到广泛应用,然而其特殊形状加工采用传统机械加工方式难以实现,且在加工过程中,硅晶体易崩碎、断裂,加工质量无法满足要求。电火花加工具有无宏观应力的特点,可作为硅晶体复杂形状加工的一种必要手段。但由于硅晶体的特殊性质,传统电火花加工伺服控制系统失效,硅晶体放电加工持续性受到影响。本课题首先对硅晶体放电加工机理进行了分析,确定了其无法持续加工的原因;通过
【出 处】
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南京航空航天大学
【发表日期】
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2020年01期
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