【摘 要】
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二氧化锡基透明导电薄膜由于其具有好的光学性质和电学性质以及高的红外反射率已经被广泛应用在太阳能电池，光电器件，平面显示以及气敏元件等领域。和目前广泛应用的ITO薄膜相比，二氧化锡基透明导电薄膜具有价格便宜，热稳定和化学稳定性好等优点，在太阳能电池上有更好的应用。目前，Sb，As，P，Mo，F，Cl已经被研究者作为杂质掺进二氧化锡中进行了研究，尽管如此，寻找新型的透明导电氧化物薄膜仍然是非常有意义的
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二氧化锡基透明导电薄膜由于其具有好的光学性质和电学性质以及高的红外反射率已经被广泛应用在太阳能电池，光电器件，平面显示以及气敏元件等领域。和目前广泛应用的ITO薄膜相比，二氧化锡基透明导电薄膜具有价格便宜，热稳定和化学稳定性好等优点，在太阳能电池上有更好的应用。目前，Sb，As，P，Mo，F，Cl已经被研究者作为杂质掺进二氧化锡中进行了研究，尽管如此，寻找新型的透明导电氧化物薄膜仍然是非常有意义的。1.本文采用纯度为99.5%的SnO_2和99.5%的Sb2O3作为原料制作Sb2O3-SnO
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