相位型全息分划板的复制技术研究

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相位型全息分划板是在现有全息分划板的基础上,结合快速发展的微纳光学理论及微电子工艺技术提出的一种具有表面浮雕结构的新型分划板,除了重量轻、精度高、隐蔽性好的优点外,衍射效率高、性能稳定、可复制加工,具有很好的应用前景。本文针对相位型全息分划板的复制加工,对模具微结构的设计、加工开展了理论和实验研究,并在此基础上进行了复制实验。主要研究内容和研究结果如下:首先,阐述了相位型全息分划板的设计原理,并对全息分划板的相位结构进行了设计,确定了微结构的最小特征尺寸为32.9μm,童点实现了台阶数目分别为2、4
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