随着现代各种类型光学仪器对小型光学零件大批量需求，越来越多的产品要求对其加工过程进行现场快速实时监控。光干涉计量仪器因为其高的测量精度引起大家的广泛关注，因此，可以离开实验室适用于生产现场的小型、现代数字波面干涉仪必将具有广阔的应用前景。 本文首先对斐索干涉仪用于平面和球面光学零件测量的原理进行阐述，系统分析和研究了现有激光斐索干涉仪的特点，根据项目对系统所能达到测量精度的相关要求和干涉仪器的经济指标，确定该干涉仪设计方案。其次，鉴于该系统采用高速成像技术较好克服环境振动对干涉测量的影响因而可用于生产车问现场检验，特别利用VC++可视化程序设计语言编写程序实现对数字图像实时自动判读避免人为判读的主观性误差，使其具有广阔的市场前景。再者，根据项目要求对所需器件进行合理选型。利用该系统对平面光学零件进行测试，较详细阐述干涉测量的调节过程，并将拍摄到的干涉条纹转化为数字信号进行实时处理，包括对图像灰度转换、图像平滑滤波处理、图像分割以及数学形态学腐蚀膨胀等操作，最终将条纹细化为只占一个像素宽度使后续条纹间距处理和条纹变形计算更方便准确。