频率高、体积小、功能多、稳定性好、易于批量生产的声表面波器件,以其独特的性能,成为与大规模集成电路、电荷耦合器件并列的三大固体微电子器件之一,在移动通信、航空航天、电子对抗等军用和民用领域得到了广泛应用。新兴的声表面波传感器,更是以其无源、无线、灵敏度高、功耗低的特点,成为传感领域的一门新兴技术,拥有巨大的发展潜力。 本文主要内容有: 1.叉指换能器是声表面波器件的基本结构。根据叉指换能器时域离散化的特点和加工精度的限制,提出了应用遗传算法优化设计叉指换能器的幅频特性,完成了叉指换能器声孔径编码,设计了适应度函数,改进了叉指换能器的幅频性能。 2.设计了三叉指换能器结构的声表面波带通滤波器,研究了叉指换能器采用不同窗函数对叉指换能器特性的影响。 3.分析了采用三角形悬臂梁结构的声表面波加速度计的设计,研究了加速度计灵敏度与悬臂梁等角和梁厚的关系。 4.声表面波器件的制作工艺是声表面波技术的难点,溅射和刻蚀更是声表面波器件制作的关键技术。因此,本文用实验方法研究了影响溅射速率的一些工艺参数;研究了感应耦合等离子体刻蚀速率与一些因素的关系以及刻蚀速率比和刻蚀的均匀性。