集成电路产业是信息技术产业的核心。随着集成电路的工作频率、集成规模不断提高,集成电路测试也变得愈发困难。基于自动测试技术的集成电路自动测试设备(Automatic Test Equipment,ATE),以其测试速度快、测试方式灵活、经济效益显著等诸多优势,已成为集成电路测试的主要手段。同步精度作为ATE的关键指标之一,随着ATE测试速率的不断提高而显得尤为重要。本课题所研制的PXIe集成电路测试系统数字测试模块最大测试速率高于200MHz、通道数64个、单机箱同步精度小于1ns,同时具有多机箱级联、小型轻便、成本低廉等优势。本文结合攻读硕士学位期间承担的多项相关研究任务,在研制PXIe集成电路测试系统数字测试模块的过程中,针对高速测试向量同步输出技术、单机箱模块同步技术以及多机箱级联同步技术展开了深入的研究:1、高速测试码型同步输出技术。测试码型输出时需要根据六个边沿时序信息确定该向量的生效时间区间和返回测试结果采集区间,因此高速测试码型同步输出一方面受到大容量时序信息的存取速度影响,另一方面受到测试向量波形合成的处理速度影响。本文分析了这两个方面不同的实现方案及原理,在此基础上对不同方法的实际输出进行了比较,讨论了不同实现方案对同步效果的影响。2、单机箱时序定位与同步技术。在集成电路测试过程中,往往需要采用多通道联合测试,通道间时序定位和信号同步至关重要。本课题时序定位提出两种方案,一种是采用Serdes通过高速数字步进实现高精度边沿定位,另一种是采用外加延时芯片通过数字延时实现,本文讨论了不同实现方案的优缺点。针对单机箱同步问题,本课题主要通过对参考时钟同步校准和触发信号同步校准来实现。3、多机箱级联同步技术。涉及多机箱同步问题,本课题通过设计同步触发模块来为不同机箱模块提供同步时钟和触发信号,弥补不同机箱背板时钟和触发信号不同步的问题。本文给出了PXIe集成电路测试系统数字测试模块相关同步指标的测试验证结果,表明该系统满足高速数字集成电路的测试要求,以基于PXIe总线的低成本方式实现数字集成电路测试。