【摘 要】
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放电等离子烧结技术(Spark Plasma Sintering,简称SPS技术)是一种先进的材料制备技术,具有烧结温度低、时间短和烧结效率高等特点.该文采用这一技术成功制备了新型Ti基底多层
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放电等离子烧结技术(Spark Plasma Sintering,简称SPS技术)是一种先进的材料制备技术,具有烧结温度低、时间短和烧结效率高等特点.该文采用这一技术成功制备了新型Ti基底多层复合TbFeCo磁光靶材.与传统TbFeCo磁光靶材相比,新靶材具有组织单相性好、致密度高以及强度和韧性良好等优点.此外,该研究新开发的多过渡层复合靶材制备技术在解决靶材在溅射过程中由于热量积聚而碎裂以及回收率低等问题上取得了较好的效果,提供了一种优质靶材制备的实用新技术.采用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微分析(SEM)、电子能谱分析(EDX)、振动样品磁强计(VSM)等分析手段并结合理论分析,系统的研究了TbFeCo合金均匀化退火工艺、TbFeCo靶材的放电等离子烧结工艺以及多过渡层复合靶材的制备技术.
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