单液滴支承磁驱动微旋转平台仿真与实验研究

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随着微机电技术的进步,微旋转平台技术得到了快速发展。采用固体轴承结构的微旋转平台难以避免固体摩擦对运动性能的影响,而气体轴承和非接触式轴承对制造精度要求高,且控制方式复杂。采用液体支承结构的微旋转平台能克服固体摩擦的限制,具有很好的柔顺性,并且结构比气体轴承和非接触式轴承简单,具有重要的研究意义。本文以单液滴支承的磁驱动微旋转平台为研究对象,基于毛细液桥结构以及磁驱动方式,建立理论和仿真模型,分析了不同参数对其承载性能、运动性能和抗干扰性能的影响。建立单液滴支承磁驱动微旋转平台的实验系统,在不同参数
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