近年来，新能源产业快速发展，其中太阳能受到更为广泛地关注。作为太阳能电池的核心组件-多晶硅，主要生产原料为三氯氢硅，在三氯氢硅生产工艺过程中需要消耗大量氯化氢。工业上氯化氢多采用氢气和氯气在合成炉中燃烧的方法获得。合成氯化氢中的水分含量一般较高，这将降低三氯氢硅收率、缩短流化床合成炉的使用寿命。因此，开发有效降低氯化氢中的水分含量的方法，对三氯氢硅生产过程的节能降耗意义重大。本文结合三氯氢硅生产过程实际，在氯化氢气体冷冻脱水法的基础上，研究和探讨用分子筛吸附法深度脱水的可行性，并对过程进行了模拟计算。选择NKF-4A、NKF-5（50）和NKF-5（300）三种型号的分子筛，分别进行氯化氢吸附脱水的性能测试，包括动态吸附量、磨耗率和再生难易程度。结果表明：（1）从脱水深度来看，三种分子筛吸附后的氯化氢气体中水分均小于50ppm；（2）在吸附容量方面，NKF-4A＞NKF-5（50）＞NKF-5（300）；（3）强度方面，使用一个周期后，NKF-4A磨耗率损失0.93%，颜色变化明显，且为不可逆，而NKF-5（50）和NKF-5（300）吸附前后，磨耗率为零，颜色没有明显变化；（4）从再生角度，NKF-5（50）再生效率最高，且再生时间短。综合比较得出，NKF-5（50）分子筛最适合于氯化氢深度脱水。对实验数据结果拟合的结果表明，上述的吸附过程符合Langmuir等温线。用Aspen Adsorption模拟了氯化氢吸附脱水的穿透曲线。研究了压力、传质系数、孔隙率等因素对穿透曲线的影响。从工程设计的角度说明了等温假设和其他简化近似的合理性。Aspen Adsorption可用于吸附过程的辅助设计。