PSTT铁电薄膜的制备和性能研究

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【摘要】

：

钽钪酸铅Pb(Sc1/2Ta1/2)O3(简称PST)是一种典型钙钛矿结构复合材料。PST铁电薄膜是一种性能优良的热释电材料,与其他材料相比,具有较高的热释电系数λ、高的电阻率ρ和大的热释电材料探测器优值FD,虽然其铁电、热释电性能很好,但由于PST居里点较低,大致在-5~25℃、且需要在相当高的温度下(1500℃)才能合成致密、具有钙钛矿结构、性能良好的PST材料,因此,这个条件极大制约了PST

【作者】

：

龚小刚

【机构】

：

四川大学

【发表日期】

：

2007年01期

【关键词】

：

PSTT 铁电薄膜磁控溅射 PZT 铁电多层膜

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