随着微机电系统的快速发展，对于箔板微型构件的需求量在不断上升的同时，在质量上也提出了更高的要求，这些箔板微型构件尺寸小，而且对尺寸精度和表面质量要求高，这给微成形技术的发展提出了新的挑战。本文提出了超声振动辅助微冲裁工艺来改善箔板微型构件的成形质量。金属箔板材料在超声振动条件下，表现出了特殊的力学性能，而超声振动辅助微冲裁正是利用了这种力学性能以及在成形过程中应力应变状态的改变来改善成形件的质量，对成形高精度、高质量的箔板构件具有重要意义。为了研究超声振动对紫铜箔板塑性变形行为的影响，本文研制了超声振动辅助单向拉伸装置。该装置是由万能试验机、超声振动系统以及连接装置组成。对超声振子进行模态分析，优化其结构设计，保证其振动性能，获得最佳方案是在振子端部开槽0.2mm宽、10mm长的开槽方案用以夹持试样。使用研制的超声振动辅助力学性能测试装置对不同晶粒尺寸的紫铜箔板进行单向拉伸实验。研究发现，在实验中加载超声振动紫铜箔板的屈服强度和抗拉强度降低，表现出了超声振动对金属材料的软化效应。在超声振动作用下，紫铜箔材的硬化指数增大，退火态紫铜箔板延伸率略有降低，轧制态紫铜箔板延伸率略有升高。对拉伸试样断口进行分析表明，加载超声振动条件下，断口附近晶粒变形更加剧烈，韧窝数量增多。对振动辅助微冲裁进行了有限元分析，采用了单边间隙板厚比分别为6%-20%五种不同的冲裁间隙在有无加载振动条件下进行了仿真，结果表明在间隙为8%且加载超声振动时冲裁质量最好。对振动辅助冲裁中的箔板应力状态进行了分析，振动缓解了冲裁过程中的应力集中，增大了压应力，使其在较大静水压力下变形，抑制了裂纹的萌生。研制了加载了超声振动的微冲裁模具，研究了超声振动辅助在不同晶粒尺寸和不同冲裁速度下对微冲裁质量的影响，结果表明使用退火状态的紫铜箔板在有无超声状态下冲裁断面都是光亮带，但加载超声振动条件下冲裁断面光洁平整，粗糙度低。使用轧制态的紫铜箔材冲裁断面光亮带比例随冲裁速度的增加而增加，而加载超声振动辅助后冲裁断面光亮带长度比例要优于无振动条件。研究了冲裁过程中裂纹的萌生与发展，超声振动使得裂纹萌生较晚，撕裂角度小，撕裂带较平整，改善了断面质量。