直线度测量是几何计量领域里最基本的项目，是平面度、平行度、垂直度、同轴度等几何量测量的基础。同时，也是机械制造行业中一个非常重要的内容，与尺寸精度、圆度和粗糙度同称为影响产品质量的四大要素。随着人们对加工和装配的精度要求越来越高，这就要求有精密的计量技术与之相适应因此，在精密机械计量过程中，直线度也是最主要的测量对象之一。论文在电子散斑干涉技术的基础上，提出了基于电子散斑干涉的直线度误差测量方法，该方法综合了激光技术、CCD和图像处理技术，具有非接触，高精度，全场性，实时性等特点，可用于在线快速工件直线度误差的测量。论文的主要研究内容有：首先介绍了直线度误差测量方法和电子散斑干涉技术的发展、应用现状，从理论上对电子散斑干涉技术应用于直线度误差测量中是可行的进行分析。依据电子散斑干涉的基本性质，分析了电子散斑干涉技术的测量原理、特点和优点，设计出了电子散斑干涉的典型光路。基于CCD图像采集系统产生的干涉条纹，针对散斑图像中含有大量噪声因子的特点，讨论了消除散斑图像中干扰的方法，通过预处理、二值化和轮廓提取等一系列图像处理，得到受干扰比较小的散斑干涉条纹、为分析散斑干涉条纹打下良好基础。设计直线度误差测量的系统装置，分析了测量系统主要的光路，通过对工件的直线度误差测量进行实验检测，通过实验结果对系统的可行性进行分析讨论，并提出了若干提高系统稳定性的方法。