二氧化锡电热膜的制备研究

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二氧化锡是一种宽带隙半导体氧化物,具有耐酸、耐碱、耐高温以及机械稳定等优点,通过掺杂可大幅度提高材料的导电性能,其中锑掺杂二氧化锡薄膜被广泛用于透明导电薄膜。由二氧化锡导电薄膜制作的电热材料,可以用于中温(25至500℃)加热,在多个行业已经开始替代传统的金属电阻丝电热材料。但现有二氧化锡电热膜在生产过程中有着污染和腐蚀严重、薄膜功率衰减严重、均匀性差、批次不稳定等缺点。本论文针对现有二氧化锡电热膜功率衰减严重的问题,对二氧化锡电热膜的原料组分进行系统研究,筛选出最佳组分,制备出性能良好的二氧化锡电热膜。并针对氯化物原料的缺点,探索非氯化锡、锑原料,采用锡、锑配合物作为薄膜制备原料,取得较好的效果。探索采用超声喷雾法制备二氧化锡电热膜,取得较好效果,并已进入工业试验阶段。
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