有机薄膜器件经过多年的快速发展，已开始从实验室走向实际的工业应用，例如有机发光二极管和有机太阳能电池等。有机薄膜是实现有机薄膜器件功能的核心结构，除有机分子本身的光电特性外，薄膜的结构、界面特性显著影响着器件的性能，而薄膜制备工艺，特别是生长过程直接决定了薄膜结构和有机-衬底界面的结合特性。因此，实时准确地检测薄膜的生长过程及结构对有机薄膜器件的研究具有重要意义，本论文主要研究有机薄膜制备工艺的光电测试方法与技术。本论文的研究内容主要有以下几个方面：1.对有机薄膜的研究现状与具体应用进行调研，分析比较了不同的薄膜表面表征技术及其优缺点，选用差分反射光谱术作为在线检测方法，在研究其测试原理与技术的基础上，设计并搭建测量光路系统，扩展实现了真空腔内的显微技术，对采集到的光学信号进行数据处理与分析。通过分析光路系统噪声来源，改进了实验系统，将误差控制在允许范围内，系统在200分钟的测量时间里数据漂移控制2*10-3以内。2.分析比较了常用的有机薄膜器件性能的测试方法，选择最优的方案测试有机场效应管的电学性能。设计并实现了电学测量系统，测试精度优于0.1nA。并对采集到的实验数据进行处理，结合原子力显微镜、光学显微镜等的测试手段，分析比较不同生长工艺对有机薄膜器件性能的影响。3.分析比较了常用的有机薄膜材料的电学特性，并选择符合本实验设计要求的材料，建立了有机薄膜光电特性测试平台。设计并实现了有机薄膜器件的制备工艺，选用并五苯作为有机薄膜材料，通过改变薄膜生长工艺，分析了不同生长条件对器件性能的影响。初步建立了有机薄膜光电特性测试平台。