【摘 要】
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为了制造出特性优良的大功率静电感应器件(SID)满足国民经济发展的需要,在对静电感应器件理论分析的基础上,对其关键制造技术进行了深入的研究。研究内容主要包括:静电感应晶
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为了制造出特性优良的大功率静电感应器件(SID)满足国民经济发展的需要,在对静电感应器件理论分析的基础上,对其关键制造技术进行了深入的研究。研究内容主要包括:静电感应晶闸管(SITH)的材料选取、结构设计、关键制造技术外延以及台面刻蚀和深槽刻蚀等的研究。此外,对静电感应晶体管(SIT)的结构设计、版图设计和工艺流程设计也进行了深入的研究。通过这些研究发现利用染磷法外延结合背面腐蚀工艺能够有效解决外延中硅片反型的问题,此外还发现深槽刻蚀对于器件特性的改善来说是必不可少的。另外,对先刻蚀台面还是先刻蚀槽的问题给出了实验对比结果,结果发现先刻蚀台面在现有实验条件下有利于器件特性的改善。最后,设计了SIT的新版图,制定出新版复合结构SIT的工艺流程,并制作出特性良好的管芯。
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