【摘 要】
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该文简要讨论分析了CCD光学测量的基本原理.为了实现大型工件轴径的微米量级的测量,采用新型CCD器件(TCD1500C)结合特殊设计的光学成象系统,首次研制马双光路投影法大型轴径
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该文简要讨论分析了CCD光学测量的基本原理.为了实现大型工件轴径的微米量级的测量,采用新型CCD器件(TCD1500C)结合特殊设计的光学成象系统,首次研制马双光路投影法大型轴径尺寸的CCD自动测量系统.该系统具有高分辨率,稳定性好,重复性了,工作电压低,寿命长,能测量大型轴径尺寸和非接触在线测量的特点.测量系统采用象方远心柯拉照明和物方远心的光学投影放大光学系统完成精密测量.提出了采用中继透镜来减少像距的光路设计方法,并给出了测量系统的光学设计原理图和机械总装图.专门设计了适合双光路投影测量系统的的CCD驱动、视频信号放大、信号处理、数据传输的电路.详细阐述了测量系统的数据处理和误差产生的原因,所测得的结果与理论设计相一致,达到φ120ˉφ130mm±5μm的技术要求.
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