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YBa2Cu3O7-δ(YBCO)高温超导薄膜具有交流损耗低、在磁场下载流能力强等优点,在高温超导材料应用中有较大优势。YBCO薄膜的制备方法很多,其中三氟乙酸-金属有机沉积方法(TFA-MOD)具有成份容易控制和成本低、容易规模化等优点,因此本论文采用TFA-MOD方法生长YBCO超导薄膜,并对YBCO薄膜的结构和性能进行了系统的研究。首先,本文开展了在LaAlO3(LAO)单晶基片上采用TFA-MOD的方法生长YBCO薄膜的工艺研究,研究了最重要的工艺参数(温度)对YBCO薄膜结构和