氧化锌是具有六方结构的重要功能材料，室温下能带带隙为3.3eV，激子束缚能高达60meV，在紫外波段具有较强的自由激子发光，是近年来继GaN之后国际上又一研究热点。较之传统的薄膜制备方法，电化学沉积法制备方法具有简单、低成本、低温制备以及膜厚和形貌可控等优点，显示出广泛的应用前景。在本论文中，使用电化学沉积法在ITO玻璃衬底上制备出了ZnO薄膜。在此基础上，首先详细研究了电沉积时间、电压、退火等因素对ZnO薄膜形貌和光学性质的影响。接着研究了ZnO薄膜的紫外激射行为。为实现对ZnO紫外激射模和阈值的调制，用垂直浸渍法制备了有序的SiO2微球阵列，以此opal结构模版并结合电化学沉积方法制备了周期结构的ZnO薄膜。最后对在ITO玻璃上制备取向生长的棒状颗粒ZnO薄膜的实验条件进行了初步的研究。 主要结果如下： 1.在三电极化学池中，利用电化学沉积法，成功地在Zn(NO3)2水溶液中制备出了ZnO薄膜。X射线衍射结果表明ZnO具有纤锌矿结构。薄膜的形貌和光学性质受到沉积时间，沉积电压和退火处理的影响。薄膜光学透射谱和AFM的结果显示，当沉积时间5min，沉积电压为-0.9V和-1.0V时，薄膜的透射率较高，膜比较致密、平滑。因此我们用电化学沉积法制备ZnO薄膜，最佳的沉积条件是：使用0.1MZn(NO3)2水溶液作为电沉积液，先用阴极恒电流模式对基片进行预电化学活化处理(电流2mA，时间为15s)，再采用阴极恒电压模式电沉积ZnO薄膜，电压控制在-0.9～-1.0V，反应温度为65℃，沉积时间为5～10min。 2.用355nm的皮秒脉冲激光作为泵浦源垂直入射薄膜表面，室温下观察到了ZnO薄膜的紫外激射现象。可以检测到403.9nm的近紫外受激发射光，其强度随入射强度呈超线性增长关系，阈值在196.8kW/cm2处。由于我们样品的激发面积较大，阈值偏低；同时我们在各个方向都观察到了激光发射，这都表明了我们的样品有着随机激光发射的性质。 3.采用改进的Stober方法制备了SiO2微球，并用垂直沉积法制备了Opal(蛋白石)结构的SiO2模版，并以此为模版采用电化学沉积法制备周期结构ZnO薄膜。电沉积后SiO2微球表面包覆了的一层紧密ZnO颗粒，尺寸为几十纳米，并且这些颗粒膜具有与Opal结构SiO2模版相同的周期。同时在ITO导电玻璃上，初步研究了取向生长的棒状颗粒ZnO薄膜的制备条件，获得了长径比约为5：1的棒状ZnO多晶颗粒。