【摘 要】
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基于声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)技术的滤波器由于其结构简单、性能出色、损耗低、成本低、小型化、可大批量生产等众多优点而受到了人们的广泛关注,在电子器件的射频
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基于声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)技术的滤波器由于其结构简单、性能出色、损耗低、成本低、小型化、可大批量生产等众多优点而受到了人们的广泛关注,在电子器件的射频前端,尤其是在手机的射频前端中都需要使用到大量的SAW滤波器,用于满足不同通讯协议的需求。近几年来,随着新一代通讯标准4G长期演进技术(Long Term Evolution,LTE)的出现,手机射频前端中的滤波器需要能够实现更大的带宽以满足LTE频段的需求,对于超宽带射频前端SAW滤波器的研究如今已经成为了一个热门的课题。 滤波器的电路主要是由数个谐振器构成,而SAW谐振器能够实现的最大带宽主要取决于谐振器中压电材料的机电耦合系数K2,因此本文主要针对提高SAW滤波器的带宽,对两种拥有较高K2的新型压电材料进行研究:铌酸锂晶体绝缘体(Lithium Niobate on Insulator,LNOI)的薄膜单晶和弛豫铁电单晶铌铟镁酸铅PIMNT。首先,通过使用有限元法(Finite Element Method,FEM)的仿真软件COMSOL,分别建立两种使用不同压电材料的单端SAW谐振器的仿真模型,研究该谐振器模型在不同电极的材料与厚度、不同压电材料的厚度以及不同欧拉角情况下的SAW传播性能,并通过实验进行SAW谐振器的制备,将测量结果与仿真结果进行比较以确保仿真结果的精确性与可行性。然后根据获得的SAW谐振器的性能,以传统的梯形滤波器电路为基础进行SAW滤波器电路的设计与研究。通过使用电路模拟软件QUCS进行滤波器电路的模拟仿真,并且对滤波器电路中谐振器的参数以及电路的整体结构进行调整,获得不同情况下的滤波器性能。这些滤波器性能的研究结果能够为超宽带 SAW谐振器和滤波器的实际设计和制备奠定足够的理论基础。
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