基于微纳米结构的宽角度滤光器件及应用研究

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为提高彩色滤光片的亮度、色纯度,降低角度敏感性,本论文设计了两种结构彩色滤光器件:基于耦合共振原理的透射型彩色滤光片和基于薄膜干涉原理的反射型彩色滤光片。透射型彩色滤光片基于二维亚波长金属-介质光栅结构,采用严格耦合波方法分析了光栅周期、高度、占空比、介质折射率等参数对滤光特性的影响,优化结构参数,获得了红、绿、蓝三原色透射输出,透射光谱峰值透射率高达78.8%,半极大值全宽约80nm,透射光谱对入射光偏振态不敏感,且在±25o入射角范围内中心波长位置变化较小。反射型彩色滤光片基于金属-介质-金属薄膜结构,理论分析薄膜折射率、厚度等参数对反射光谱特性的影响,在此基础上进行优化设计,获得了基于减色原理的青(C)、品红(M)、黄(Y)三种颜色的反射输出。C、M、Y反射光谱中心波长分别位于655nm,555nm和455nm,对应反射率分别为0.14%,1.65%和9.25%,带宽分别为70nm,60nm和60nm。该结构彩色滤光片在±40o入射角范围内反射滤光特性基本不变,具有宽角度特性。在此基础上,利用真空镀膜、投影曝光技术和Lift-off剥离工艺,制备了带背景色的彩色图案。与亚波长周期结构彩色滤光片、传统多层介质膜干涉滤光片相比,该金属-介质-金属薄膜结构彩色滤光片具有结构简单、制备方便的优势,在平板显示和绿色印刷领域具有潜在的应用前景。
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