射频感应耦合等离子体调谐基片自偏压特性的实验研究

来源 :大连理工大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cairing

【摘要】

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【作者】

：

霍伟刚

【出处】

：

大连理工大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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感性耦合等离子体调谐基片自偏压射频Langmuir探针容性探针

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