基于DWDM技术的全光网络,充分利用光纤所具有的巨大传输容量,必将成为组建下一代高可靠性、超大容量、超高速信息网络的核心技术。光衰减器是一种广泛应用的重要的光通信无源器件,尤其是在全光网络中有着重要的应用。研制出一种工作在1550nm波长范围的5V驱动MEMS VOA。它除了具有传统结构VOA良好的光学性能外,还具有驱动电压低、光学结构简单、易于实现多信道集成、性价比高等优点。它主要由双光纤pigtail、C-lens透镜和MEMS Mirror三部分组成,光学结构非常简单。它的基本工作原理是:静电驱动Mirror小角度转动,反射镜改变传输光的方向,高斯光束的传输和模场耦合理论。本文概述了光衰减器在全光网络中的应用,光衰减器的分类及各种实现方案,发展历程、发展前景及国内外研究情况,给出了本课题的研究目的和意义。介绍了MEMS和MOEMS技术,基于MEMS的VOA的几种实现方案。在现有技术的基础上,研制出一种新颖的MEMS VOA方案;改进之处是采用斜8度C-Lens。给出了VOA的光学结构组成,介绍了它的工作原理。基于现有C-Lens球透镜结构,分析了VOA光学结构要求,得到光学组件的装配要求。VOA的光学结构,可等效为两个单模光纤准直器的耦合结构;VOA利用角向失配量的改变,实现不同衰减值。利用纤维光学理论,分析了两个单模光纤准直器的一般耦合情况,进而得到了VOA的插入损耗、衰减量和WDL的计算公式;利用矩阵光学,得到了RL的计算公式;详细分析讨论了它们的影响因素。给出了PDL、TDL的概念及光通信系统对几个光学参数的要求。最后给出了VOA的实验研究情况:测试系统的设计、光路的调试、光学参数的测试和研究等。实验结果表明该方案是可行的,IL、衰减量、PDL、WDL、RL等均满足光通信要求,但是TDL不易控制。如果能改善工艺和提高装配技能,能达到更高的产品指标。