论文部分内容阅读
现如今,激光干涉测量技术发展得已经很成熟。在位移测量方面,要想在光学上提高干涉仪分辨率及精度难度较大。而随着硬技术和软件技术的升级,使得高分辨力、高精度的激光干涉仪得以发展。具体来说,就是利用硬件电路或软件的方法滤除各种误差源导致的信号的失真与变形。单频激光干涉仪的误差源主要由三部分组成。第一部分是单频激光测量系统固有误差,包括量化误差和非正交误差以及非线性误差等；第二部分是由于环境变化引起的误差,包括折射率误差,光学热漂移等；第三部分是系统的安装误差,包括阿贝误差、余弦误差等。在这所有的误差源中,