【摘 要】
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为了满足精密加工隔离低频振动信号的需要，本论文对采用压电陶瓷制成的低频精密主动隔振系统进行了理论、仿真和实验研究。低频精密主动隔振系统是采用压电陶瓷作为作动器和干扰源，两级隔振系统作为受控对象组成的机电一体化系统。本文首先对单级和两级被动隔振系统进行了理论研究。由于被动隔振不能隔离低频振动信号，据此作者重点研究了单级和两级主动隔振系统。主动隔振系统需要性能优异的传感器，作者提出了三种用于传感器低频
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为了满足精密加工隔离低频振动信号的需要，本论文对采用压电陶瓷制成的低频精密主动隔振系统进行了理论、仿真和实验研究。低频精密主动隔振系统是采用压电陶瓷作为作动器和干扰源，两级隔振系统作为受控对象组成的机电一体化系统。本文首先对单级和两级被动隔振系统进行了理论研究。由于被动隔振不能隔离低频振动信号，据此作者重点研究了单级和两级主动隔振系统。主动隔振系统需要性能优异的传感器，作者提出了三种用于传感器低频扩展的方法，并利用MATLAB软件分别对其稳态和瞬态响应进行了仿真研究。在设计了新型的高压功率放大器后，
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